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1000兆分の1の世界から、1000年先の未来へ。

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About us

東京電子とは?

極高真空技術で
1000兆分の1を計る

最先端の車載用MEMSセンサーや半導体デバイスなどの品質を保持するためには、チップ内部の極微小ガスを計る必要があります。その値は1000兆分の1。東京電子は極高真空技術で最先端デバイスが創り出す先進社会を支えます。

パルスパワー技術で
1000年先の次世代社会を創る

1000年先の未来まで永続的なエネルギーを供給する手段、それはフュージョンエナジー「核融合」です。ウランもプルトニウムも使わない脱炭素社会の次世代エネルギー。
東京電子はパルスパワー技術で核融合の高周波加熱を起こす加速電源を造っています。

Business

事業内容

東京電子は極高真空技術と、パルスパワー技術で、先進社会を支える会社です。最先端の車載用MEMSセンサーや半導体デバイスなどの品質を保持するためには、チップ内部の極微小ガスを計る必要があります。東京電子の極高真空技術では、フェムト(1000兆分の1)を計ることができます。そして近年、次世代のエネルギー供給手段として注目されるフュージョンエナジー「核融合」技術。ウランもプルトニウムも使わない、脱炭素社会の次世代エネルギーと言われています。核融合に必要な高周波加熱を支えるのが、東京電子の加速電源、パルスパワー技術です。このような当社の技術が、1000年先の次世代社会とその持続性に貢献しています。

真空機器事業

Vacuum Instruments

東京電子の真空技術は、究極の真空を造り、計ります。当社は究極の真空構造材、0.2% BeCu テクノロジーを基に、10⁻¹⁰Paという極高真空を造り出すことができます。この究極なテクノロジーにより、次世代半導体製造、高精度分析に貢献しています。

0.2% BeCu真空部品

超高真空チャンバー(SUS・Al・Ti)

NEGポンプ(非蒸発型ゲッターポンプ)

質量ガス分析計

INFICON社 質量ガス分析計

質量ガス分析システム

真空環境試験装置

受託質量ガス分析事業
(破壊・非破壊)

Analysis Services

東京電子では、当社の質量ガス分析技術を用いた受託分析事業を展開しています。極微小ガス分析、高感度質量ガス分析を必要とする、さまざまなお客様へ、破壊および非破壊によるガス成分分析、リークテスト、真空プロセス評価、品質管理、不良解析などのソリューションを提供します。

デバイス質量ガス分析

ウエハ質量ガス分析

MEMS質量ガス分析(封止デバイス)

電源装置事業

Power Electronics

東京電子は、パルスパワーによる最高パフォーマンスの電源装置を造り出しています。大電力パルス、高電圧パルスがもたらす瞬間パワー。核融合実験炉のプラズマ発生、あるいは電子デバイスの成膜工程など、このパルステクノロジーは、サスティナブルなエネルギーのための核融合研究、あるいは豊かな先進社会を構築する高機能電子デバイスの開発に貢献しています。

核融合用加速電源

加速器用電磁石電源

パルス電源

加速器設備用電源(イオンポンプ)

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