来る2023年12月22日（金）に日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第176回定例研究会・第20回技術交流会 および エレクトロニクス実装学会 官能検査システム化研究会 2023年度第2回公開研究会が産総研九州センターにて開催されます。
弊社は本研究会において「新開発ミニマルMBE装置によるTMRセンサの成膜」についてポスター発表を致します。
多くの皆様のご来場をお待ちしております。
スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第176回定例研究会・第20回技術交流会 および エレクトロニクス実装学会 官能検査システム化研究会 2023年度第2回公開研究会
【主催】
日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
【共催】
エレクトロニクス実装学会 官能検査システム化研究会
【開催日】
2023年12月22日（金）14:00～19:00（受付13:30より）
【会場】
産総研九州センター 第2棟大会議室・ホール
〒841-0052 佐賀県鳥栖市宿町807-1
【ポスター発表】
タイトル： 低ガス放出の真空構造材0.2%BeCu合金ミニマル装置への応用
発表内容：0.2％BeCuチャンバー搭載のミニマルMBE装置によるTMRセンサー用磁性膜の成膜について報告をします。
発表者：黒岩雅英
研究会の詳細情報はJVSSのHPを参照ください。
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https://www.jvss.jp/jpn/activities/40/detail.php?eid=00019
