製品の特長と利点
- 4.0×10⁻⁷Pa ～ 3.0×10⁻²Paの圧力を1レンジで測定
- 堅牢な冷陰極型電離真空計・小型・堅牢で使い易い
- 小型のボディーで省スペース化が可能
従来製品・技術との違い
- 冷陰極型電離真空計は、マグネトロン放電により残留ガスをイオン化し、圧力を測定します
- 冷陰極型電離真空計（コールドカソードゲージ）は熱陰極電離真空計（ホットカソードゲージ）と異なり、フィラメントを持たず、丈夫で信頼性の高い計測が行えます
推奨用途・アプリケーション
- 真空蒸着装置
- 光学薄膜生成装置
- 加速装置とUHV研究
- 電子デバイス製造装置
- 光電子工学のデバイス製造装置 ……など
製品仕様
| 測定範囲 | 4.0×10-7 [Pa] ～ 3.0×10-2 [Pa] |
| 出力信号 | a)制御出力 フォトリレー出力 容量DC24V、0.5A (設定値より圧力が低いとき出力ONとなる) 設定範囲デジタル表示範囲の任意の2点において設定可能 b)アナログ出力0～5V F.S. 出力インピーダンス 1KΩ |
| 使用温度，湿度 | 温度5～40℃、湿度90％以下(結露せぬこと) |
| 電源 | AC100V±10％、10VA以下(50/60 Hz) |
| 外形寸法 | 107W)×99(H)×240(D) [mm] (但し、突起部は除く) |
| 測定子 | 型式 S-360T 他 |
| 製品構成 | 本体、電源ケーブル |
| 納期 | お打合せ下さい。 |
