製品の特長と利点
- 粉末粒形が真球
- ダスト・フリー
- 自己ガス放出が小（XHV向き）
- COの排気速度が大きい
- Zr、V、Feの3元系合金粉
- 排気速度をディスク数で調整（100～500L/s）
- ディスク間を延長すれば分布ポンプ
- シースヒータ＆熱電対（大気側）の脱着自由
- 取付方向自由
- 無振動、無荷電粒子、無電力（稼働時）
従来製品・技術との違い
- アトマイズ法で製作したNEG粉は、粒度の分散が小さく、完全な真球なので、NEGとしての安定性は抜群に向上しております。反面粉粒同士の結合が起こりにくく、従来のような圧縮固化する形式のポンプを構成することはできません。東京電子では、NEG粉を固めるのではなく、粉の粒径より小さい網目の金網容器に入れ、粉の飛散を防止する逆転の発想をしました。結果、NEG粉グラム当たりの排気速度が高く、安定的で、低価格、ダストフリーのNEGポンプの開発に成功しました。
製品仕様
| ICF70 シリーズ | 主なスペック |
| ディスクサイズ | Φ30×h4 mm |
| １ディスク充填NEG量 | 5.5 ｇ |
| １ディスク排気速度 | H2=18, CO=20, N2=7 L/s |
| ポンプ排気速度(H2) | 100～500 L/s |
| ヒータパイプ | ¼” Inconel or SUS316 |
| 活性化条件 | 450℃×30min |
| 対応フランジ | ICF070 (SUS316L) |
| ポンプ全高 | 100 ～ 300 mm |
| 重量 | 450 〜 600ｇ |
＊1 内外特許取得済
＊2 ヒータ/TCは最大4 mまで延長可能.
