製品の特長と利点
- 低輻射/高熱伝導の0.2% BeCu 合金製イオン源フランジでフィラメント熱の影響を減らし、E⁻¹³Pa台のガス分析を可能にした超低ガス放出RGA
- Ptlr合金グリッド＋強力電子ボンバード脱ガス機構の採用により、水素とESDの疑似ピークを従来製品に比して1/1000以下に低減
- 全構成部品を分解し電気炉で脱ガス処理
- インフィコン社製 Transpector MPHを改造
- 使用ソフト：最新FabGurad Explorer
従来製品・技術との違い
- センサー自身が発生するアウトガスを大幅に低減により、 極・超高真空における高精度なガス分析が可能
推奨用途・アプリケーション
- 正確な残留ガス成分測定
- 表面分析
- 半導体デバイスの劣化とガス放出
- 光刺激、電子刺激によって発生するガス分析
- 微量ガス分析 （TDS/Out Gas）
- 封止デバイス/MEMSのガス分析 （Micro Electro Mechanical System）
- ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析
