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MEMS質量ガス分析
（封止デバイス）

封止圧（内圧）および、内圧ガスの成分分析を行います。

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関連資料

製品の特長と利点

  • 微小ガス分析
  • 破壊・非破壊分析
  • 蓄積法によるE⁻¹⁵Pa・m³/sec（He）の極小リークテスト
  • 超微小リーク校正ユニット（産総研）の保有（He）
  • 真空プロセス評価、品質管理、工程解析に最適

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〒185-0012　東京都国分寺市本町2-22-7

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