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スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP 部会)
SP部会賞受賞記念講演のお知らせ

SP部会賞受賞記念講演のお知らせ


この度公益社団法人日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術
部会(SP 部会)のSP部会賞を受賞し下記の通り受賞記念講演を行うこととなりました。
ご多忙のことと存じますが、ぜひご参加くださるようご案内申し上げます。

演 題:「アーク抑制および成膜レート向上を目的とした大電力パルススパッタ電源
の技術開発」

講演者:東京電子株式会社 黒岩雅英

日 時: 2020 年9 月7 日(月)13:00~16:45
場 所: Web 会議形式
*詳細はこちらをクリックしてご参照ください





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