東京電子株式会社 | 真空計・真空制御機器・電源装置の設計開発

受　賞　者：東京電子株式会社　真空技術部　岸川 信介、佐々木 優直
受賞テーマ：　完全封止ガス分析法の製品化

弊社東京電子は、完全封止ガス分析法の製品化をテーマ 「破壊分析型超高感度ガス分析装置
WATMASS-MPH DA System」の開発業績に対し、一般社団法人日本真空工業会が主催する「2020年度JVIA表彰　イノベーション賞」を受賞しました。
■完全封止ガス分析法の製品化
「破壊分析型超高感度ガス分析装置WATMASS-MPH DA System」の開発
MEMSを代表とする封止デバイスおよび、その他製品の破壊・非破壊による微量ガス分析を介して、その信頼性の改善に貢献したこと、また　ピコ/ナノ リッターの容積および、E-15Pa・m3/sec （He） 以下の検知を可能とした業績が評価されました。
※本件に関する技術資料が必要な方はsales@toel.co.jpまでご請求下さい。
〔授賞式の模様〕