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2021年日本表面真空学会学術講演会、
および実用新技術セミナー、デジタル展示会出展のお知らせ

2021年日本表面真空学会学術講演会・実用新技術セミナー(Online開催)

来る2021年11月1日(月)~5日(金)までに行われる学術講演会・実用新技術セミナー・デジタル展示会に出展いたします。
多くの皆様のご来場をお待ちしております。

*参加方法、詳細は日本表面真空学会のHPをご覧ください↓ 
  https://www.jvss.jp/annual/mtg2021/ 
【2021年日本表面真空学会学術講演会】 ※有料
口頭発表
11月4日(木) 13:30-13:45
講演番号:2Ep01
講演タイトル:ビルドアップによるVacuum firingの効果の検証
著者:〇神谷潤一郎1、高野一弘1、和田薫2
(日本原子力研究開発機構1、東京電子(株)2)*〇発表者

2件目
11月4日(木) 13:45-14:00
講演番号:2Ep02
講演タイトル: 0.2%Be-Cu材料で作製した小型真空プロセス容器の特性評価
著者:○中村孝夫1,黒岩雅英2,岸川信介2,辺見修一2,亀井龍一郎3
(1東京大学生産技術研究所, 2東京電子㈱, 3誠南工業㈱)*〇発表者

ポスター発表

講演番号:3P25
講演タイトル:0.2パーセントBe-Cu材の放出ガス特性
著者:〇和田薫1、神谷潤一郎2、倉持勝也3
(東京電子(株)1、日本原子力研究開発機構2、(株)トータルサポートシステ
ム3)*〇発表者

【実用新技術セミナー】 ※無料
学術講演会の併催事業である実用新技術セミナーにて弊社講演を行います。
日時:11月1日(月)14:55~15:10

表題: 低ガス放出・低温化で小型成膜装置に貢献する新しい真空構造材0.2%BeCuのご紹介
講演者: 東京電子 代表取締役 黒岩雅英
聴講方法 :口頭発表(Zoom)
詳細は こちらをクリック https://www.jvss.jp/annual/mtg2021/exhibitor.html#seminar


【デジタル企業展示】 ※入場料無料
日時 : 2021年11月4日(木)~11月5日(金)
展示内容 :
〔真空計〕
フルレンジゲージ、ミニチュアイオンゲージ、極高真空ゲージなどを紹介します。
〔質量分析計〕
 四重極質量分析計WATMASS-MPH、インフィコン社四重極質量分析計
Transpectorシリーズを紹介します。
〔0.2%BeCu合金〕
 ステンレス鋼に代わる0.2%BeCu合金のニップル(配管)、キューブ(継手)、フランジ、チャンバを紹介します。
〔吸着型極高真空ポンプ〕
BeCu合金のマジックNEG、アトマイズ法のAG-NEGを紹介します。
〔超高感度ガス分析システム〕
 超低ガス放出質量分析システムを紹介します。
〔HF-HiPIMSパルス電源〕
 アーク異常放電抑制型のHiPIMSを紹介します。


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