Product Lineup

究極の真空を造り、計る。

当社は究極の真空構造材、0.2% BeCu テクノロジーを基に、10⁻¹⁰Paという極高真空を造り出すことができます。この究極なテクノロジーにより、次世代半導体製造、高精度分析に貢献しています。

次世代半導体、最先端のセンサ・デバイスの開発を支える。

東京電子では、当社の質量ガス分析技術を用いた受託分析事業を展開しています。極微小ガス分析、高感度質量ガス分析を必要とする、さまざまなお客様へ、破壊および非破壊によるガス成分分析、リークテスト、真空プロセス評価、品質管理、不良解析などのソリューションを提供します。

パルスパワーによる、最高パフォーマンスの電源装置。

大電力パルス、高電圧パルスがもたらす瞬間パワー。核融合実験炉のプラズマ発生、あるいは電子デバイスの成膜工程など、このパルステクノロジーは、サスティナブルなエネルギーのための核融合研究、あるいは豊かな先進社会を構築する高機能電子デバイスの開発に貢献しています。