» 2018年日本表面真空学会学術講演会のお知らせ

弊社 HiPIMS電源が2019年度SP部会賞 受賞

弊社 HiPIMS電源が2019年度SP部会賞 受賞

アーク異常放電を引き起こすチャージアップの問題を解決するため、新たに開発された弊社独自のHF(Hi-Frequency)パルス電源(特願No.2018-007823平成30弊社 HiPIMS電源が2019年度 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP 部会)SP部会賞を受賞いたしました。  

受賞タイトル:
「アーク抑制および成膜レート向上を目的とした大電力パルススパッタ電源の技術開発」

弊社東京電子は、「アーク抑制型HiPIMS電源」を開発しその業績が評価され、この度(公社)日本表面真空学会主催のSP部会賞を受賞いたしました。

年12月18日特許成立済)で通常のHiPIMSにくらべ23%までアーク異常放電を軽減させることに成功。
これにより高品質、高機能な成膜を実現することができ、その業績が評価されました。
※本件に関する技術資料が必要な方はsales@toel.co.jpまでご請求下さい。

・受賞資料↓
こちらをクリックしてください。 

※ こちらに掲載されている情報は、発表日現在の情報です。 最新の情報と異なる場合がありますのでご了承ください。



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