» 2018年日本表面真空学会学術講演会のお知らせ

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)
第165回定例研究会・第17回技術交流会講演のお知らせ

弊社は下記学会にて講演をいたします。
スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)第165回定例研究会・第17回技術交流会
開催日時:2021年1月25日(月)13:00 ~ 18:00
会場:オンライン(Zoom)
開催通知URL : https://www.jvss.jp/jpn/activities/40/detail.php?eid=00004
講演タイトル:低温化・低ガス放出で先進的スパッタに貢献する新しい真空構造材BeCu
講演者:黒岩雅英
内容:SUS代わる0.2%BeCu合金は、高熱伝導率と低熱輻射率による超低ガス放出化・低温化をもたらす。
当社は本材料を自社の極高真空コンポーネント・超高感度ガス分析装置に使用していたが、
BeCuの熱特性を活かし、従来の真空構造材としてのSUSに代わり、
超高真空を必要とする先進的な成膜装置へのBeCuチャンバの供給が期待できる。
 
皆様のご来場、お待ちしております。

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