» 2018年日本表面真空学会学術講演会のお知らせ

日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)のお知らせ

来る2023年12月22日(金)に日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)第176回定例研究会・第20回技術交流会 および エレクトロニクス実装学会 官能検査システム化研究会 2023年度第2回公開研究会が産総研九州センターにて開催されます。
弊社は本研究会において「新開発ミニマルMBE装置によるTMRセンサの成膜」についてポスター発表を致します。
多くの皆様のご来場をお待ちしております。

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)第176回定例研究会・第20回技術交流会 および エレクトロニクス実装学会 官能検査システム化研究会 2023年度第2回公開研究会
【主催】
日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)
【共催】
エレクトロニクス実装学会 官能検査システム化研究会
【開催日】
2023年12月22日(金)14:00~19:00(受付13:30より)
【会場】
産総研九州センター 第2棟大会議室・ホール
〒841-0052 佐賀県鳥栖市宿町807-1
【ポスター発表】
タイトル: 低ガス放出の真空構造材0.2%BeCu合金ミニマル装置への応用
発表内容:0.2%BeCuチャンバー搭載のミニマルMBE装置によるTMRセンサー用磁性膜の成膜について報告をします。
発表者:黒岩雅英
研究会の詳細情報はJVSSのHPを参照ください。

https://www.jvss.jp/jpn/activities/40/detail.php?eid=00019

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