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Plasma Conference 2017

会期:2017年11月21日(火)~24日(金)
会場:姫路商工会議所

弊社では、一般講演でHiPIMS法に関する下記2件のポスター発表をいたします。

1) HiPIMS法を用いたDLC成膜における反応性ガスによる放電特性への影響
     講演者;黒岩雅英1,共同著者;岡野忠之1,中谷達行2, 福江紘幸2 
     東京電子(株)1,岡山理科大学2
2) HiPIMS法を用いたDLC成膜における基板電流密度に及ぼすバイアス電圧の影響
     講演者;福江 紘幸2,共同著者;中谷 達行2,岡野 忠之1,黒岩 雅英1
     東京電子(株)1,岡山理科大学2

PLASMA2017

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