2020年日本表面真空学会学術講演会・実用新技術セミナー（Online開催）
来る2020年11月17日（火）～21日（土）までに行われる学術講演会・実用新技術セミナー・デジタル展示会に出展いたします。
多くの皆様のご来場をお待ちしております。
＊参加方法、詳細は日本表面真空学会のHPをご覧ください↓
https://www.jvss.jp/annual/mtg2020/index.htm
【2020年日本表面真空学会学術講演会】 ※有料
一般講演
1件目：講演番号 2Ep11
2020年11月20日（金） 15:30～15:45
講演タイトル： J-PARC RCSにおける大強度ビーム運転の圧力上昇
発表者：日本原子力研究開発 神谷 潤一郎
東京電子株式会社 和田 薫 （共著者）
著者：神谷 潤一郎 ¹, 古徳 博文 ¹, 黒澤 俊太¹, 高野 一弘 ¹, 栁橋 亨¹, 山本 風海 ¹, 和田 薫²
¹日本原子力研究開発機構, ²東京電子株式会社
発表形式：口頭発表（Zoom）
2件目：講演番号 3Ba01 （産業賞受賞講演）
2020年11月21日（土） 9:00～9:30
講演タイトル： 高機能成膜を実現させるアーク抑制型HiPIMS電源の開発
発表者：東京電子株式会社 黒岩雅英
著者：黒岩 雅英¹, 岡野 忠之¹, 中谷 達行², 福江 紘幸³
¹東京電子株式会社, ²岡山理科大学フロンティ理工学研究所, ³岡山理科大学大学院工学研究科
聴講方法： 口頭発表（Zoom）
【実用新技術セミナー】 ※無料
学術講演会の併催事業である実用新技術セミナーにて弊社講演を行います。
2020年11月17日（火） 14:45～15:00
表題： 低ガス放出・低温化で小型成膜装置に貢献する新しい真空構造材0.2%BeCuのご紹介
聴講方法 ：口頭発表（Zoom）
【デジタル企業展示】 ※入場料無料
日時 ： 2020年11月21日（火）～11月21日（土）
展示内容 ：
〔真空計〕
フルレンジゲージ、ミニチュアイオンゲージ、極高真空ゲージなどを紹介します。
〔質量分析計〕
四重極質量分析計ＷＡＴＭＡＳＳ－ＭＰＨ、インフィコン社四重極質量分析計
Ｔｒａｎｓｐｅｃｔｏｒシリーズを紹介します。
〔０．２％ＢｅＣｕ合金〕
ステンレス鋼に代わる０．２％ＢｅＣｕ合金のニップル（配管）、キューブ（継手）、フランジ、チャンバを紹介します。
〔吸着型極高真空ポンプ〕
ＢｅＣｕ合金のマジックＮＥＧ、アトマイズ法のＡＧ－ＮＥＧを紹介します。
〔超高感度ガス分析システム〕
超低ガス放出質量分析システムを紹介します。
〔ＨＦ－ＨｉＰＩＭＳパルス電源〕
アーク異常放電抑制型のＨｉＰＩＭＳを紹介します。
