SEMICON JAPAN出展のご案内
SEMICON JAPAN出展のご案内
東京電子は、2021年12月15日より東京ビッグサイトで開催されるSEMICON JAPANにお
いて、低ガス放出の極高真空部品・質量分析計、真空計の製品展示、
デバイス向け破壊分析型超高感度ガス分析装置の紹介をおこないます。
◆会期：2021年12月15日(水)、16日（木）、17日(金) 10:00–17:00 3日間
◆会場：東京ビッグサイト （東京国際展示場）
東展示棟1～5ホール、会議棟
↓会場の詳細はこちらをクリックしてください
https://www.semiconjapan.org/jp/about/hotel-and-travel
◆展示会入場料：無料 （事前登録制）
↓参加登録はSEMICON JAPAN2021 真空展HPよりご登録ください。
https://www.semiconjapan.org/jp/about/pricing-and-register
◆弊社展示ブース：東展示棟5ホール 小間番号 5027
SEMICON JAPANの見どころ
１）デバイス向け破壊分析型超高感度ガス分析装置 WATMASS-MPH DA System
真空構造材0.2％BeCu合金を用いたQMSによる封止デバイスなど、 微量ガス分析
を可能とする分析装置です。
２）SUSの常識を覆す真空構造材、0.2％BeCuチャンバー
優れた熱特性による低ガス放出0.2％BeCuチャンバー。 ミニマル装置にも採用さ
れ装置の小型化を実現できます。
３）高機能膜を実現させるアーク抑制型HiPIMS電源
HiPIMSの課題であるアーク異常放電と成膜レートの低さを解決させたアーク抑制
型HiPIMS用パルス電源です。
皆様のご来場をお待ちしております。
↓SEMICON JAPAN公式ホームページはこちらとなります。
