2021年日本表面真空学会学術講演会・実用新技術セミナー（Online開催）
来る2021年11月1日（月）～5日（金）までに行われる学術講演会・実用新技術セミナー・デジタル展示会に出展いたします。
多くの皆様のご来場をお待ちしております。
＊参加方法、詳細は日本表面真空学会のHPをご覧ください↓
https://www.jvss.jp/annual/mtg2021/
【2021年日本表面真空学会学術講演会】 ※有料
口頭発表
11月4日（木） 13:30-13:45
講演番号：2Ep01
講演タイトル：ビルドアップによるVacuum firingの効果の検証
著者：〇神谷潤一郎1、高野一弘1、和田薫2
（日本原子力研究開発機構1、東京電子（株）2）＊〇発表者
2件目
11月4日（木） 13:45-14:00
講演番号：2Ep02
講演タイトル： 0.2%Be-Cu材料で作製した小型真空プロセス容器の特性評価
著者：○中村孝夫1，黒岩雅英2，岸川信介2，辺見修一2，亀井龍一郎3
（1東京大学生産技術研究所， 2東京電子㈱, 3誠南工業㈱）＊〇発表者
ポスター発表
講演番号：3P25
講演タイトル：0.2パーセントBe-Cu材の放出ガス特性
著者：〇和田薫1、神谷潤一郎2、倉持勝也3
（東京電子（株）1、日本原子力研究開発機構2、（株）トータルサポートシステ
ム3）＊〇発表者
【実用新技術セミナー】 ※無料
学術講演会の併催事業である実用新技術セミナーにて弊社講演を行います。
日時：11月1日（月）14:55～15:10
表題： 低ガス放出・低温化で小型成膜装置に貢献する新しい真空構造材0.2%BeCuのご紹介
講演者： 東京電子 代表取締役 黒岩雅英
聴講方法 ：口頭発表（Zoom）
詳細は こちらをクリック https://www.jvss.jp/annual/mtg2021/exhibitor.html#seminar
【デジタル企業展示】 ※入場料無料
日時 ： 2021年11月4日（木）～11月5日（金）
展示内容 ：
〔真空計〕
フルレンジゲージ、ミニチュアイオンゲージ、極高真空ゲージなどを紹介します。
〔質量分析計〕
四重極質量分析計ＷＡＴＭＡＳＳ－ＭＰＨ、インフィコン社四重極質量分析計
Ｔｒａｎｓｐｅｃｔｏｒシリーズを紹介します。
〔０．２％ＢｅＣｕ合金〕
ステンレス鋼に代わる０．２％ＢｅＣｕ合金のニップル（配管）、キューブ（継手）、フランジ、チャンバを紹介します。
〔吸着型極高真空ポンプ〕
ＢｅＣｕ合金のマジックＮＥＧ、アトマイズ法のＡＧ－ＮＥＧを紹介します。
〔超高感度ガス分析システム〕
超低ガス放出質量分析システムを紹介します。
〔ＨＦ－ＨｉＰＩＭＳパルス電源〕
アーク異常放電抑制型のＨｉＰＩＭＳを紹介します。
