2018年日本表面真空学会学術講演会
来る2018年11月19日（月）から11月21日（水）まで
「2018年日本表面真空 学会学術講演会」が、神戸国際会議場にて開催されます。
弊社ではセッションにおいて3件の講演、およ び併設展示会への出展をいたします。
多くの皆様のご来場をお待ちしております。
会議開催期間： 2018年11月19日（月），20日（火）（懇親会），21日（水）
会場：神戸国際会議場 （〒650-0046 兵庫県神戸市中央区港島中町6-9-1）
交通アクセス：JR神戸線 三宮駅よりポートライナーで約10分 市民広場駅下車すぐ
◆部会セッション
下記内容で講演をいたします。
1件目 ： 薄膜（TF）
講演番号：3Fp10
講演タイトル：ターゲットの物理的組成が及ぼすHiPIMSの平均電力密度特性
著者：○黒岩雅英1，岡野忠之1，福江紘幸2，中谷達行3
（東京電子1， 岡山理大院工2，岡山理大技科研3）*○発表者
2件目 ： 真空科学技術（VST）
講演番号： 2Cp04
講演タイトル：超高感度 質量ガス分析装置
著者：〇岸川信介1, 佐々木優直1, 黒岩雅英1, 林雄造2, 新井健太3, 吉田肇3
（東京電子1, 真空実験室2, 産総研3）＊〇発表者
3件目 ：スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会：広がるスパッタ成膜技術−現状と展望
講演番号：2Dp08S
講演タイトル：HiPIMS法を用いたDLC成膜におけるターゲットの物理的特性が及ぼすアーキング低減効果
著者：○福江紘幸1，岡野忠之2，黒岩雅英2，中谷達行3
（岡山理大院工1，東京電子2，岡山理大技科研3）*○発表者
◆併設展示会
日時：2018年11月19日（月）12:00～17:00 11月20日（火） 9:00～17:00
展示製品（予定）：極高真空製品、成膜（HiPIMS）用電源
日本表面真空学会のHPも合わせてご覧ください
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