東京電子は2022年第69回応用物理学会春季学術講演会にて講演いたします。
皆様のご聴講をお待ちしております。
【応用物理学会 春季学術講演会】
期間 ： 2022年3月22日(火)〜26日(土)
開催場所 ：青山学院大学 相模原キャンパス＆オンライン ※ハイブリッド開催
講演タイトル：0.2%Be-Cu材料で作製した小型真空プロセス容器の特性評価
著者 ： 中村 孝夫1，黒岩 雅英2，岸川 信介2，辺見 修一2，亀井 龍一郎3
1.東京大学生産技術研究所， 2.東京電子㈱, 3.誠南工業㈱
講演番号 ：26p-E206-12
発表日時 ： 3月26日（土）16:30
【発表概要】
低熱輻射、低脱ガスという優れた特性をもつ0.2%BeCu合金をミニマルファブの小型真空プロセス容器として開発を進めている。従来型の真空構造材であるSUSとプロセス容器として要求される特性比較を行いBeCuの優位性を有することを明確にした。
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