弊社は下記学会にて講演をいたします。
【スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第165回定例研究会・第17回技術交流会】
開催日時：2021年1月25日（月）13:00 ～ 18:00
会場：オンライン（Zoom）
開催通知URL ： https://www.jvss.jp/jpn/activities/40/detail.php?eid=00004
講演タイトル：低温化・低ガス放出で先進的スパッタに貢献する新しい真空構造材BeCu
講演者：黒岩雅英
内容：ＳＵＳ代わる０．２％ＢｅＣｕ合金は、高熱伝導率と低熱輻射率による超低ガス放出化・低温化をもたらす。
当社は本材料を自社の極高真空コンポーネント・超高感度ガス分析装置に使用していたが、
BeCuの熱特性を活かし、従来の真空構造材としてのSUSに代わり、
超高真空を必要とする先進的な成膜装置へのBeCuチャンバの供給が期待できる。
皆様のご来場、お待ちしております。
