弊社は下記学会にて講演をいたします。
【ISPlasma2021/IC-PLANTS2021】
http://www.isplasma.jp/index.html
開催日時：2021年3月7日（日）~３月11日（木）
開催形式 ：オンライン
講演タイトル：Development of the arc restraint type HiPIMS power supply to achieve highperformance film formation
講演番号 ： SI 1218
発表者 ： 東京電子 黒岩雅英
発表日時 ： 3月9日（火）18:15~
【発表概要】
HiPIMSの課題であるアーク異常放電と成膜レートの低さを解決させた
アーク抑制型HiPIMS用パルス電源の開発について
皆様のご来場、お待ちしております。
