VACUUM 2018 真空展　出展者ワークショップのご案内

日時：9月5日（水）15:40～16:10　（NO：A-5）
会場：パシフィコ横浜 展示ホール内ワークショップ会場

タイトル：アークレスなHiPIMS用パルス電源の紹介
内容：成膜にダメージを及ぼすアーク異常放電をパルスの波形により制御させ、平均電力を上げることで
成膜レートを向上させた、画期的なHiPIMS用パルス電源をご紹介いたします。

皆様のご来場、お待ちしております。