JVSS誌「表面と真空」記事掲載の件

公益社団法人日本表面真空学会の学会誌「表面と真空　第67巻第8号」に「BeCu合金材料の表面分析と真空特性」と題して記事を投稿しました。弊社製品0.2%BeCuの特性にご興味のある方は是非、ご閲読ください。

会誌名：表面と真空　第67巻　第8号　2024年8月10日発行

著者：和田　薫1, （責任著者）・柳橋　亨2・志賀隆史1, 2・神谷潤一郎2・倉持勝也3

1東京電子株式会社　2日本原子力研究開発機構　3株式会社トータル・サポート・システム

要約：BeCu材は熱伝導率が高く熱放射率が低い特徴があり、チャンバーの温度上昇を抑えることができる。さらに、本素材は特殊な熱処理を施すことでアウトガスを極限まで抑制することができ極高真空環境を容易に作ることができる。この特性を確認するため、X線光電子分光分析(XPS)と熱脱着分析(TDS)によりBeCu材料の表面状態を確認した。また、ビルドアップ試験により、BeCu材料が真空に対して良好な特性を有することを確認した。

掲載URL：　表面と真空会誌ニュース　https://www.jvss.jp/vss/vss_index.html　　全文閲読（J-STAGE）https://www.jstage.jst.go.jp/article/vss/67/8/67_20181331/_article/-char/ja

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