産総研リンク先 ⇒
産総研と「超微小リーク校正ユニット」に関する特許実施許諾契約締結のお知らせ
弊社はこのほど国立研究開発法人 産業技術総合研究所の特許
「参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置」（特許第6091017号）の特許実施許諾契約を締結しました。
これを受け、本超微小リーク校正ユニットと弊社製超高感度ガス分析装置を接続させ10-15Pa・m3/sオーダーの計測が可能となりました。
＊詳細は産総研発表資料をご参照ください(産総研のページに移動します。
