受託質量ガス分析事業
東京電子では、当社の質量ガス分析技術を用いた受託分析事業を展開しています。極微小ガス分析、高感度質量ガス分析を必要とする、さまざまなお客様へ、破壊および非破壊によるガス成分分析、リークテスト、真空プロセス評価、品質管理、不良解析などのソリューションを提供します。
各真空プロセス後のガス分析により、プロセスの改善に貢献します。
各種ウエハおよび、貼り合わせウエハからのガス分析によりプロセスの改善に貢献します。
封止圧（内圧）および、内圧ガスの成分分析を行います。
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