製品仕様
製品名 | 500W スパッタ用パルス電源 | |
---|---|---|
出力 | 電圧:最大約1,100V 定格800V(波高値) 電流:最大1.25A(波高値) 電力:最大500W(平均値) 周波数:1.01kHz ~ 150kHz(周期:6.6μs~990.0μs) Duty:10% ~ 90% |
|
操作機能 | ローカル/リモート切替:押釦スイッチ ※リモートはオプション機能 ローカル機能 電源ON/OFF:押釦スイッチ RESET:押釦スイッチ(MODE SEL & OUTPUTSEL押釦同時押し) MODE SEL:押釦スイッチ OUTPUT SEL:押釦スイッチ SET:ポテンショメータ Tcyc SET(周期設定):サムロータリースイッチ Ton SET(ON時間設定):サムロータリースイッチ |
|
表示 | OUTPUT:出力表示3-1/2桁(出力電力/出力電流/出力電圧) W/mA/V:OUTPUT SEL選択によるLED表示 CP/CC/CV:MODE SEL選択によるLED表示 READY:準備完了表示 インターロック表示&保護機能 ・ARC:DC出力過電流&パルス出力過電流 ・CVP:DC出力過電圧 ・TEMP:半導体過熱 ・FUSE:ヒューズ溶断 |
|
制御方式 | 直流電源部出力の定電力制御(CP) 直流電源部出力の定電流制御(CC) 直流電源部出力の定電圧制御(CV) *制御については、CP/CV/CCの切り替え方式とします |
|
冷却方法 | 強制空冷式 | |
寸法 | 幅 480mm×高さ 150mm×奥行 600mm(突起物を除く) ラックマウント ( EIA ) 取付対応 |
500W スパッタ用パルス電源に関するお問い合わせは
→こちらをクリック