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四重極型残留ガス分析計(RGA)

インフィコン(INFICON)社 トランスペクター(Transpector)シリーズ
弊社は、四重極型残留ガス分析計(RGA)の分野で世界をリードするインフィコン社代理店として、お客様の真空アプリケーションニーズに最適な機器をご提供いたします。 以下に代表的なインフィコン社の製品トランスペクター MPS/MPH, およびCPMをご紹介いたします。
残留ガス分析計 (RGA: Residual Gas Analyzer) では、高真空対応のトランスペクター MPS/MPH が業界最高クラスの測定速度、最小検知分圧 (MDPP: Minimum Detectable Partial Pressure) 、S/N比を実現しています。ランニングコストが低く、平均故障間隔 (MTBF: Mean Time Between Failure) の長いトランスペクターMPS/MPH は、市場における他のRGA製品群に比較してより多くの価値と利益を提供します。
トランスペクター CPMは、新たに設計された電子技術と現場で実証された排気系および、インレットシステムの統合により、業界最先端の測定速度と感度を実現したプロセスモニターです。長寿命のクローズドイオンソース (CIS: Closed Ion Source) の採用により、稼働時間の最大化を実現しております。トランスペクターCPMは、市場で最も信頼と汎用性に優れた高真空から大気圧までの幅広い圧力領域での測定を可能にしたコンパクトな差動排気型のプロセスモニターであり続けます。
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