高速パターン電源
成膜用電源として、100A/0.1msの立上り、立下りの高速応答が可能です。また、100A/0.1ms以下であれば電流/電圧を任意に設定することも可能となっております。リニア方式であることから、スイッチングノイズがなく低ノイズ化を実現しております。
製品仕様
製品名 | 高速パターン電源 | |
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制御 | 定電流/定電圧制御 | |
外形寸法 | トランス盤 幅:600㎜ 高さ:1943㎜ 奥行:800㎜ Tr-BANK盤 幅:600㎜ 高さ:1943㎜ 奥行:800㎜ |
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安定度 | 直流出力400A設定において0.1%以下 30V設定最大定格値において0.1%以下 |
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リップル | 定電流モードにて、400A設定において0.5%rms以下 定電圧モードにて、30V設定最大定格値において0.5%rms以下 |
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電流 | 定格出力電流 0~800A(直流出力電流は400A上限) 設定値に対する実電流誤差 定格出力時 ±0.5%以下 実電流に対するモニタ誤差 電流モニタ ±0.5%以下 電流DPM ±0.5%以下 |
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電圧 | 定格出力電圧 0~30V 設定値に対する実電圧誤差 定格出力時 ±0.5%以下 実電圧に対するモニタ誤差 電圧モニタ ±0.5%以下 電圧DPM ±0.5%以下 |
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周波数特性 | 定電流にて3kHz(±3dB)以上 定電圧にて3kHz(±3dB)以上 |
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立上り、立下り | 電流設定800A / 0.8ms以下 *上記グラフ (電流設定100A / 0.1ms以下) 電圧設定15V / 0.1ms以下 |
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