真空機器事業
東京電子の真空技術は、究極の真空を造り、計ります。当社は究極の真空構造材、0.2% BeCu テクノロジーを基に、10⁻¹⁰Paという極高真空を造り出すことができます。この究極なテクノロジーにより、次世代半導体製造、高精度分析に貢献しています。
広範囲の圧力測定、連続測定に対応したコンビネーションゲージ CC-10をはじめ、最新のセンサー技術を取り入れた真空計を紹介します。センサー、回路部、ディスプレイ一体型により、本体のみで圧力表示から、セットポイントによるシステム制御までを完結できるなど、付加価値の高い製品を提供しています。
東京電子が独自に開発した「0.2% BeCu 合金材料」の特性を生かした、さまざまな真空部品を紹介します。ステンレス鋼に代わる真空構造材としての「0.2% BeCu 合金材料」を組み合わせていただくことで、極・超高真空の環境を安心して構築、構成できます。
高真空・超高真空装置の構築に最適な超高真空チャンバーです。お客様のコストおよび、性能、目的などの要望に応じた幅広い選択性を提示します。
NEG粉末を最新技術の非接触型アトマイズ法で製作し、粉を圧縮固化せず、粉状（グラニュー）のまま使用する新しい形態の「非蒸発型ゲッター（NEG：Non-Evoporable Getter）」ポンプです。NEG粉は真球であり、表面状態が非常に安定していることから排気速度も大きく、高信頼性の排気特性を示します。粉の表面は滑らかで安定していますので、再排気の時に表面層から放出される自己ガス放出が非常に小さく、UHV/XHV発生に最適です。
センサー自身が発生するアウトガスを大幅に低減し、 極・超高真空における高精度なガス分析を実現しています。
INFICON社製の質量ガス分析計およびシステム、コンパクトプロセスモニターを紹介します。MTBF向上とランニングコスト低減を実現した同社の分析計は、さまざまなガス種の高感度分析、モニタリングに貢献します。
MEMSなどの封止デバイスおよび、ウエハなどの極微小ガス分析に必要となる、超高感度質量ガス分析を実現します。
真空製品の環境試験に必要な真空度を、自動で繰り返し設定、提供します。真空度・環境温度・サイクル時間管理などのさまざまなパラメーターを自由に設定可能です。
