製品の特長と利点
- マイクロサイズの熱伝導真空計
MEMS加工技術によりマイクロサイズを実現 - 低圧側の測定幅が広い
発熱体を構成する材料などを工夫することによって、低圧側測定を改善 - 定電圧法と定温度法の測定方法
- Chip（MCG-05）タイプとCAN（TPM227）タイプの2種類
お客様のご希望のパッケージでの実装も可能
従来製品・技術との違い
- マイクロ真空計は、MEMS加工技術により、シリコン基板から熱分離された薄膜と、熱電対からなるマイクロサイズの熱伝導真空計です。
製品仕様
| MGC-05 | TPM227 | |
|---|---|---|
| 仕様 | Chipタイプ | 標準CANタイプ |
| 寸法 | 890 × 1080м m | $5.35✕2.7（CAN部） |
| 販売単位 | 10個/セット 20個/セット | 5個／セット |
