製品の特長と利点
- 1.8ms/ポイントの超高速 Dwell Time
- コンパクトサイズ
- 大気圧から高真空に対応
- 長寿命クローズド・イオン・ソース（CPM）
- 質量範囲100、200、300amu
- 標準校正ガス（オプション）
推奨用途・アプリケーション
- 中真空～大気圧モニター
差動排気型 質量ガス分析計
Transpector CPM
INFICON CPMコンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトな質量ガス分析計で、複合プロセスの、In-Situモニターリングに最適です。また、ドライ化された排気システムは、実績ある長寿命クローズド・イオン・ソース（CPM）の技術と共に、さらに高いレベルの性能を実現しています。
