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高性能残留ガス分析計(RGA) Transpector MPH

比類なき性能の残留ガス分析計(RGA)

Transpector MPH_MPS_sil_MEDIUM
特長
・1ポイント当り1.8msの超高速データ収集(アナログスキャン・選択ピーク)
・標準校正器(オプション)
・TCP/IPイーサネット接続が可能
・デュアルフィラメント(2本)
・現場で交換可能な2次電子増倍管
・アノード、カソード及びリペラー電極を組み合わせたフィラメントキット
・コンパクトなセンサによる設置スペースの最少化
・9桁のダイナミックレンジ
・MDPP(最小検出分圧)は<2.7E-13Pa(100amu)
・S/N比の向上
・センサと制御部(SCU)のマッチング不要
・クリーンルーム環境における組立・検査、及び二重梱包による出荷
・RoHSに適合

新設計のセンサによるMTBFの向上とランニングコストの低減
トランスペクターMPHのイオンソースは、2つのフィラメントをアノード、カソード及びリペラー電極を組み合わせたアセンブリとしています。メイン及びバックアップを使用するデュアルフィラメント設計により、センサを長期間に渡って使用することが可能になり、システムの致命的な障害を回避できます。また、トランスペクターMPHは用途に適したフィラメント(ハロゲンを含むプロセスにはタングステン、酸素を含むプロセスにはイットリアコートイリジウム)を選択できるため、プロセスによりフィラメントの寿命が縮まるようなことはありません。

トランスペクターMPHのフィラメントの交換は、従来型RGAのイオンソース全体を交換することに相当します。このメンテナンス箇所の削減により、トータルコストは大幅に削減されます。トランスペクターMPHでは、一般的に長期使用で汚染されるフィラメントとイオンソースを交換することにより、RGAの寿命や感度に貢献します。

このセンサは、現場で交換可能な2次電子増倍管(EM)にも付加価値をもたらします(2次電子増倍管を装備している場合)。EMは定期メンテナンスの際に現場で速やかに交換できます。新しい2次電子増倍管は、ファラデーカップ(FC)の感度を更に高め、寿命を延ばすことに貢献しています。

transpectorsensorfig

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