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高圧プロセスモニター用ガス分析システム Transpector XPR3

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Transpector XPR3は、四重極をベースとした次世代の高圧プロセスモニターです。コンパクトな外見(全長237㎜)にもかかわらず2.6Paから高真空まで、広い範囲で使用することができます。大型で複雑な差動排気装置は必要ありません。

特長
●イオンソースの再設計により、汚染物質の影響を抑え、寿命の延長とクリアーな信号の提供を実現

xpr3ionsource 2 デュアルイオンソースから供給されるイオン流の1つは分圧測定のために四重極フィルタへ 供給され、もう1つのイオン流は全圧のコレクターに送られます。これにより、イオンゲー ジよりも高い精度で連続的に全圧を測定することができます。これにより高圧域での感度損 失が改善され、0.1Pa単位での測定精度が実現されています。

●PVDプロセス圧で動作する新しいEM(二次電子増倍管)により、迅速でクリーンなデータ収集が可能になるとともに、FCからEMへの変更が不要になったためデータ変換も容易
●新たに延長された新四重極により低質量範囲でのフィルタ性能とアバンダンス感度が改善され、水素検知感度も向上

アプリケーション例
・PVDプロセスモジュール
・プレクリーンモジュール
・デガスモジュール

デュアルイオンソースは、汚染物質の影響を最小にするため改良が加えられ、これによってイオンソースの
寿命が延長されています。

このデュアルイオンソースから供給されるイオン流の1つは、分圧測定のために四重極フィルタへ供給され、もう1つのイオン流は全圧のコレクターに送られます。これにより、イオンゲージよりも高い精度で連続的に全圧を測定することができます。

製品仕様

質量範囲 1~100(amu)
分解能 <1@10%、質量4、20、28、40で測定(1993 AVS推奨方式による)
質量フィルタータイプ 四重極
検出器タイプ Off-axis FCおよびマイクロチャンネルプレートEM
温度係数 ピーク高さとして1℃あたり<1%(FC信号 Ar 1.3E-2Pa時)
質量ピーク安定性 24時間で<0.1amu(FC信号 Ar 1.3E-2Pa時、STP一定)
質量ピーク比安定性 24時間で<2%(2/40、4/40、20/40、28/40)
感度(公称) FC@40eV/200μA:≧3E-9amps/Pa
EM@40eV/200μA:≧3E-5amps/Pa
最少検出分圧 FC@40eV/200μA:≧3E-7Pa
EM@40eV/200μA:≧8E-10Pa
最大動作圧 FCまたはEM:2.6Pa(Linear operation:1.3Pa)
センサー最大動作温度
(最大ベーキング温度)
150℃(200℃:SCU取り外し)
PPM検出限界 10ppm(@0.13~0.65Pa プロセス圧力)
動作温度 20~50℃
入力電源 20~30VDC,9ピンDコネクタ(オス)、システムGNDとは内部絶縁
RS232シリアル通信インターフェイス 非絶縁、ボーレート1200~9600ボー、9ピンDコネクタ(メス)
RS485通信インターフェイス
(アドレス可能)
絶縁、ボーレート固定(57,600)、半二重、固定アドレス1~31、9ピンDコネクタ(メス)
リレー出力 4系統、24V-0.5A(動作ステータス×1、リミット設定点×3)
入力 非絶縁TTL入力×2、接点入力、差動アナログ入力×2、0~10VDC

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