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B-Aゲージコントローラ GI-710

B-Aゲージコントローラ GI-710

GI-710‎

特徴
・3.00×10⁻⁹~1.00×10⁻³[Pa]、圧力表示範囲は、   1.33×10⁻⁹~1.32×10⁻³[Pa]
・エミッション電流の現在値を、スイッチ操作にて 確認可能
・フィラメント保護:イオン電流、エミッション電 流、圧力のいずれかが規定値を外れた場合にフィ ラメントの通電を遮断します。

 

製品仕様

測定範囲 3.00×10-9 ~1.00×10-3 [Pa]
圧力表示範囲は、1.33×10-9 ~1.32×10-3 [Pa]
外形寸法、重量 200 (W) ×99 (H) ×364.5 (D) [mm] 約3[kg]
使用電源 AC100[V]±10[V]、1[A]、50/60[Hz]
使用環境 温度:5~40[℃]
湿度:85[%RH]以下(結露せぬこと)
         エミッション電流 4[mA]固定 (スイッチ操作にて現在値の確認可能)
アウトガス 機能無し
アナログ出力 I/Oコネクタ及びBNCコネクタから下記の電圧を出力
V=log10P ⇔ P=10V
V:出力電圧[V]
P:測定圧力[Pa]
※3.00×10-9[Pa]=約-8.52[V]、1.00×10-3[Pa]=-3.00[V]
※フィラメントがOFFの時、出力は0[V]
フィラメント保護 ・イオン電流、エミッション電流、圧力のいずれかが規定値を外れた場合にフィラメン トの通電を遮断します。
・イオン電流エラー:規定値(2.00E-6[A])以上で動作し、表示部にエラー(Err01)を点滅表 示します。
・エミッション電流エラー:規定値(4.00E-3[A]±50%)を超えた場合に動作し、表示部に エラー(Err02)を点滅表示し、ステータス信号(EMI FAIL)が出力されます。
・圧力OVERエラー:規定値(1.33E-3[Pa])以上で動作し、表示部に[oFF]を点滅表示及び OVERランプが赤色点灯し、ステータス信号(OVER)が出力されます。
セットポイント出力 接点数:3点、設定値以下で接点閉・設定値以上で接点開
接点容量:DC50[V]、0.12[A](PhotoMOSリレー)
スイッチ操作にて設定
ステータス表示ランプにて状態を表示
フィラメント切替え スイッチ操作で切替え
ステータス表示ランプにて状態を表示
センサー感度係数 スイッチ操作にて設定可能
デフォルト値:0.19[Pa-1]
I/Oコネクタ Dサブ25ピンコネクタ(メス)
出力:6点
SP出力(SP1、SP2、SP3)
ステータス出力(FIL ON、OVER、EMI FAIL)
入力:2点
リモートFIL ON
リモートFIL OFF
アナログ出力:1点
ANALOG OUT コネクタ BNCコネクタ
アナログ出力
適合センサー キヤノンアネルバ社製ヌードイオンゲージ
NIG-2F及びNIG-2TF

 

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