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マイクロ真空計

マイクロ真空計
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◆MEMS加工技術により、シリコン基板から熱分離された薄膜と、熱電対からなるマイクロサイズの熱伝導真空計です。
◆発熱体を構成する材料などを工夫することによって、低圧側の測定幅を広げてあります。
◆Chipサイズ □0.8mm
◆標準のCANパッケージ(写真)以外にも、ご希望のパッケージでの実装が可能です。

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