製品の特長と利点
- XHVの高精度な測定を実現
X線限界約5×10⁻¹²Paの高精度イオンゲージヘッド（従来EXゲージの1/40以下） - 実効感度は従来品の2.5倍
2.4⁻⁴A/Pa（4mA時）の高感度 - ガス放出は 従来品（SUS）の1/10以下
真空構造材 0.2% BeCuの採用 - 市販のコントローラで10⁻¹¹Paまで計測可能
従来製品・技術との違い
- Ion Beamを、円筒グリッドの側面からBelt状にして取り出し、240°Bent（偏向）した位置で捕捉します。熱陰極型イオンゲージに存在する「軟X線」「電子刺激（ESD）」「ガス放出」の3つの測定限界を総合的に改善し、10⁻¹²Pa台までの圧力計測可能な新しいタイプの測定子です。
- 白金イリジウム合金製グリッド、イットリア被覆イリジウムフィラメントのイオン源電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2% BeCu 合金のコンフラットフランジ（ICF070）中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。
推奨用途・アプリケーション
- XHV（極高真空）の研究
- XHV・UHVの真空装置
- XHV・UHVの分析装置 ……など
製品仕様
| 電子エネルギ | 100~150eV |
| フィラメント電位 | 10~100V |
| 測定時フィラメント加熱電力 | 1.5A×2.8V |
| E-beam脱ガス電力 | 480V×10~30mA |
| 電子電流 | １～4mA（e比例範囲）,10mAも可能 |
| 偏向電極電位 | 155V(e比例範囲),145V（10mA） |
| 測定子感度 | 5 ~ 7E-2Pa-1（e比例範囲） 3.5~4.2E-2Pa-1(10mA時) |
| X線限界 | 5 ~ 7E-2Pa-1（e比例範囲） 3.5~4.2E-2Pa-1(10mA時) |
| ベーキング温度 | 最大300℃ |
| フランジ材料 | NiPメッキ0.2%BeCu合金 |
| 電流導入端子 | SUS304+Koval真空端子 |
| 取付フランジ | ICF070（無酸素銅ガスケット） |
